915MHz，75kW高功率微波等离子体（MPCVD）

金刚石膜沉积装置

直径3-5英寸（φ76-127mm）大面积高质量金刚石膜

河北普莱斯曼金刚石科技有限公司与北京科技大学于2014年联合研制了一台75kW， 915MHz高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置。经过两年多的设备改进与工艺探索，目前我单位采用该设备可成功制备直径达5英寸（φ127mm），厚度0.1-2mm的大面积高质量金刚石膜。通过控制生长条件，可为客户提供不同规格和特性的优质金刚石膜产品。